나노공정 나노 압입
페이지 정보
- 용어
- 나노 압입
- 요약
- 경도 측정 방법으로 박막과 같은 수 마이크로미터 이하의 미소영역에서의 물성평가를 위해 새로 개발된 시험법
- 참고문헌
- - http://ciak.kyungnam.ac.kr/research/high_machine.htm
- www.icon.or.kr/information/File/나노인덴터의 원리 및 응용.pdf
- http://mmrl.snu.ac.kr/index-k.tm
- 한준희, 한국 정밀 공학 학회지, 16(3), 16-25 (2002) - 분류
- 나노공정 > 기타
본문
인덴터(indentor)의 압입과정을 전기적인 방법으로 측정하여 압입곡선을 측정하는 방법으로 이 곡선을 통하여 소성경도와 소성 및 탄성 변형모두의 영향을 받은 경도(universal hardness) 및 탄성계수를 측정할 수 있다. 이에 따라 압입하중-변위곡선을 얻음으로써 재료의 탄성 및 소성변형에 대한 정보를 동시에 제공해 주게 된다(압입 하중 제거시 탄성회복 거동을 분석함으로써 탄성계수를 구하고 압입하중-변위곡선의 면적으로부터 재료의 변형에너지를 구할수 있다).
나노압입에서 주로 사용되는 압입자의 형태를 살펴보면 Berkovich 압입자가 사용되며 모양은 다이아몬드의 결정학적 방향에 따라 보다 날카로운 팁을 만들 수 있게 되어 있고 삼각뿔 형태이다. 지금은 이 나노압입을 응용해 박막에 존재하는 잔류응력을 측정하고자 하는 연구도 진행되고 있다. 즉 시편에 압축 잔류 응력이 존재하면 압입에 의한 변형이 구속됨으로써 동일한 하중에 대해 잔류응력이 없는 경우보다 압입깊이가 감소하게 되고, 경도값이 증가하게 된다. 또 인장 잔류 응력이 존재하면 이와는 반대의 양상이 나타나는 원리를 이용하여 잔류응력을 평가한다.
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