용어의 정의

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EFM과 더불어 시료의 전기적 특성을 재는 유용한 장치로 전자용량원자 현미경 SCM이 있다. SCM은 전기용량 감지기(capacitance sensor)를 탐침에 연결하여 탐침과 시료사이의 전기용량(capacitance)을 잰다. SCM에서 사용되는 전기용량 감지기(capacitance sensor)는 고주파(~1GHz) 발진기와 전기적 공명장치로 구성되어 있으며 외부에 연결된 전기용량(capacitance)이 변하면 공명주파수가 변하는 것에 의해 매우 작은 전기용량(10-19F)까지도 측정할 수 있게 되어 있다. 그러나 나노미터 크기의 탐침과 시료사이의 전기용량(10-16~10-18F)은 주위의 떠돌이 전기용량(stray capacitance) (10-13F)에 비해 훨씬 작아서 직접 C값을 잴 수 없기 때문에, 낮은 주파수(~100KHz)로 측정신호를 변조시킨 후 lock-in amp로 dC/dV, 즉 C의 전압에 대한 미분값을 재게 된다. SCM을 사용하면 운반자 밀도(carrier density)를 측정할 수 있으며, 그림과 같이 반도체 소자의 2차원적 도핑 프로파일(doping profile)을 알아내는데 유용하다.