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용어의 정의

나노전자 나노기전시스템, 넴스

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작성자 관리자
댓글 0건 조회 4,786회 작성일 07-04-03 00:00
용어
나노기전시스템, 넴스
요약
수십에서 수백 나노미터 크기의 기계-전자 요소로 구성된 기전 복합 시스템
참고문헌
- Y. Xia, G. M. Whitesides, Angrew. Chem. Int. Ed. 37, 550-575 (1998)

- http://physicsweb.org/article/world
분류
나노전자 > 나노메카트로닉스

본문

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넴스(NEMS) 기술을 이용하면 나노 크기의 변위를 측정하거나 아주 약한 분자간의 힘을 측정하는데 응용되는 나노 센서를 제작할 수 있으며, 나노 크기의 구동이 가능한 Nano actuator와 나노 크기의 진동을 제어하여 이를 이용하게 할 수 있는 Nano resonator의 제작이 가능하다. NEMS 기술을 이용하면 기존의 MEMS 기술이 추구하였던 영역 보다 작은 영역에서 구현되기 때문에 분자 단위의 조립이나 제어, 측정 등의 구현이 가능하게 된다.
현재는 NEMS 기술과 바이오 기술을 융합하여, 질병진단이나 DNA 분석, 약물 제조에 응용하려는 노력이 이루어지고 있으며, 향후 바이오 융합 기술에 핵심 도구로 사용될 수 있다.
MEMS 기술보다 작은 영역에서 재료를 제조하고 공정해야 하기에 NEMS에서는 전자빔 리소그래피나 소프트 리소그래피, AFM 등을 이용하여 패터닝(patterning)을 하게 되고, 나노임프린트, SAM 등의 기술을 응용하여 광범위한 활용을 가능하게 할 수 있다.