에어로졸(aerosol)이란 기체 중에 떠 있는 고체 또는 액체상의 입자를 의미하며, 분자 크기의 매우 작은 입자부터 대략 100 마이크로미터에 이르는 다양한 크기와 형상을 가지고 있다. 위의 그림과 같이, 에어로졸 공정이란 고체의 증발 혹은 기체상태에서의 화학 반응 등에 의해 발생된 고체 또는 액체 에어로졸을 이용하여 분말, 박막, 반도체와 같은 최종 생성물을 제조하는 시스템을 의미한다. 이러한 종류의 시스템은 화학 반응이나 물리적인 공정을 통해 에어로졸이 제조되며, 기체 중의 입자들이나 액적들은 표면들에 부착되거나, 어떤 경우에는 원료 증기들과 함께 필름을 형성되는 과정을 포함한다. 에어로졸 공정 중에는 기체상태의 화학 반응들과 표면 반응 입자와 입자사이의 반응, 핵생성, 증발, 응축, 고체 상태의 확산, 상변화, 입자들 간의 충돌, 융합(coalescence), 응집, 그리고 이동과 부착과 같은 현상들이 함께 발생한다. 나노 입자와 같은 최종 생성물은 출발상의 종류에 따라 고상, 액상 그리고 기상합성법으로 구분된다. 최근에는 다양한 재료의 응용분야에서 고순도이면서, 응집이 되어 있지 않고, 결정상의 재료가 필수적으로 요구되고 있다. 그 제조 공정 또한 연속적이며 동시에 대량 생산이 가능해야 하므로, 이들 재료를 합성하는 최적의 공정으로 바텀업(bottom-up) 방식을 기본 개념으로 하는 에어로졸 공정과 같은 기상합성법이 이상적인 기술로 주목을 받고 있다. 에어로졸 공정으로는 고온의 화염을 이용한 방법, 고온의 노 반응기를 이용한 방법, 레이저를 이용한 방법, 플라즈마 반응기를 이용한 방법, 스프레이를 이용한 방법 등이 사용되고 있다.
