용어의 정의

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SThM은 열탐침(thermal probe)을 이용하여 시료 표면의 온도 분포와 열 전도성을 재는 현미경이다. 여기서 사용되는 열탐침으로는 일반적으로 가느다란(직경 5 μm) 백금선(platinum wire)에 은(silver)이 덮여 있는 Wollaston wire로 만들어 진다. 그림 1과 같이 Wollaston wire를 접고 끝 부분의 은을 전기화학적으로 식각(etching)하여 백금(platinum)으로 이루어진 중심부만 시료에 닿게 한다. 휘스톤 브리지(Wheastone bridge)회로를 써서 열탐침의 저항 값을 측정하고 각 부위에서의 값을 기록해 나가면 시료표면의 온도 분포를 얻을 수 있는데 이를 Temperature Contrast Mode(TCM)라 한다. 또 하나의 모드로 열 전도율을 얻을 수 있는 Thermal Conductivity Contrast Mode(CCM)가 있다. 이것은 피드백을 사용하여 열탐침 온도가 일정하도록 유지시키면서 각 부위에서 시료와의 접촉으로 인해 빠져나가는 열을 보상하는데 들어간 전기에너지를 기록하여 시료표면의 열전도율을 측정하는 것이다.