나노전자 미소기계전기시스템, 마이크로시스템, 미소기전집적시스템
페이지 정보
- 용어
- 미소기계전기시스템, 마이크로시스템, 미소기전집적시스템
- 요약
- 극미세 공정기술을 이용하여 형성된 미소기계요소와 이들의 작동에 필요한 집적회로를 공통의 실리콘 Substrate 위에서 결합하여 하나의 칩으로 일체화 시킨 시스템
- 참고문헌
- - N. Maluf, An introduction to microelectromechanical systems engineering, Artech House Publishers, Boston (2000)
- L.S. Fan, Y.C. Tai and R.S. Muller, "Pin Joints, Gears Springs Cranks and Other Novel Micromechanical Structures," Proc. 4th Int. Conf. So - 분류
- 나노전자 > 나노메카트로닉스
본문
MEMS를 구현하기 위한 공정은 전자 분야의 IC 공정과 유사하다. MEMS 공정을 이용하여 선택적으로 실리콘 웨이퍼를 식각하거나 새로운 층을 쌓아서 기계적인 구조물을 만들거나 전기적인 강응 구조를 만들면 소자를 만들 수 있다. MEMS은 극미세 전자분야와 극미세 머시닝분야를 결합으로 이루어진 MEMS 기술은 미세 센서 및 구동기를 이용한 응용에 혁신적인 발전을 이루었다. 특별히, 매크로 시스템의 기능을 단일 칩에 구현한 systems-on-a-chip의 실현을 가능하게 했다. 이처럼 통합된 소자 시스템은 전자적인 능력을 갖추었기 때문에 감지하고 제어하는 것을 효과적으로 할 수 있다. 센서들은 기계, 생물, 화학, 광학, 그리고 전자기장이 이루고 있는 환경에서 필요한 정보들을 뽑아내고, 전자제어시스템이 구동기에 이에 대응하는 신호를 보내면, 구동기는 물리적인 움직임을 생성함으로써 미소영역에서의 운동장치, 펌프, 필터 등에 적절히 사용된다. 이러한 특성으로 MEMS 기술은 다양한 학문 분야에서 응용할 수 있다. MEMS 기술의 또 하나의 장점은 한 번의 공정에 많은 소자들을 얻을 수 있어서 정교하고 다양한 기능을 가진 소자들을 저렴한 가격에 제작할 수 있다는 데에 있다.- 이전글나노기전시스템, 넴스 07.04.03
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