용어의 정의

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우리나라의 나노기술 연구개발을 주도하고 있는 대형 연구개발사업으로는 과학기술부의 나노기술 프론티어사업이 있다. 각 사업별 10년간 정부지원 부문의 예산이 1,000억원 이상에 달하는 대형연구사업인 21세기 프론티어 사업에는 “테라급나노소자개발사업”, “나노소재기술개발사업”, “나노메카트로닉스기술개발사업” 등이 활발하게 진행되고 있다.

테라급나노소자개발사업단(http://www.nanotech.re.kr)

“테라급나노소자개발사업”은 5~10년 내에 직면할 반도체소자의 기술 및 제조의 한계를 극복할 수 있는 초고속, 초고집적, 초저소비전력 나노소자개발을 목표로 하고 있으며, 2000년부터 2010년까지 10년간 총 1,700억원(정부 1,000억원, 민간 700억원)의 예산이 투입된다. 테라급나노전자, 스핀트로닉스, 분자전자소자 및 나노요소기술개발이 주요사업으로 추진되고 있다. 2005년도에는 테라(30nm)급 SONOS Array TEG설계 및 Memory Cell 공정설계, 256Mbit급 MRAM Array 개발, 중성빔 및 원자층 식각을 이용한 50nm급 나노식각장비 기술확립, 원자이미지를 이용한 10nm 수준의 양자점 및 양자선형성 기술 개발 등을 추진하였다.



나노소재기술개발사업단(http://www.nanotech.re.kr)

“나노소재기술개발사업”은 환경친화적이며 높은 효율을 갖는 나노소재개발을 목표로 하며, 2002년부터 2012년까지 총 1,200억원(정부 900억원, 민간300억원)의 예산이 투입된다. 연구분야는 환경친화형 고강도 나노소재, 고효율 환경/에너지 나노소재, 정보 인프라 구축용 광학 나노소재 등이며, 2005년에는 인장강도를 2배로 높인 미세결정립 고강도 판재 개발, 고강도/내마모 서멧코팅 및 고상윤활 세라믹 코팅기술 개발, 광학나노소재 원천기술/전기발광 디스플레이 나노소재의 소자화기술 개발, 생체 나노재료의 제조 및 인성강화 기구 기술 확립 등을 추진하였다.



나노메카트로닉스기술개발사업단(http://cnmt.kist.re.kr)

“나노메카트로닉스기술개발사업”은 나노단위의 극미세 산업용부품을 제조하기 위한 공정기술, 공정장비 개발 그리고 공정관련 해석, 설계, 제어, 측정기술 개발을 목표로 하고 있다. 2002년부터 2012년까지 10년간 추진되며 모두 1,135억원(정부 1,000억원, 민간 135억원)의 예산이 투입될 예정이다. 주요 연구분야는 나노패턴공정기술, 나노프로브응용공정기술, 나노장비기술, 나노공정요소기술 등으로 2005년에는 50nm급 공정 및 패터닝 장비기술을 개발하여 독자적인 원천기술력을 확보하는 연구를 진행하였다.