용어의 정의

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나노공정은 나노미터 (1 nm=10 억분의 1 미터) 크기의 수준에서 물질과 소자를 다루는 기술을 이용한 공정으로서 정보기술(IT), 생명공학기술(BT) 등과 함께 21 세기 신산업 혁명을 주도할 핵심공정이며 IT, BT, ET(환경기술)의 발전을 받쳐주는 핵심 요소기술로 기대되고 있다. 나노공정은 다양하게 발전하고 있어 정해진 분류법이 있는 것은 아니지만 크게 세 가지 핵심 분야와 기타 분야로 나눌 수 있다.
첫째, 나노 소재로 극미세한 크기의 새로운 물질과 재료를 합성하는 공정이다. 나노공정에 응용하기 위한 분말의 제조방법은 기상법, 액상법, 고상법으로 나눌 수 있다. 기상을 이용한 대표적인 제조방법은 가스 증발-응축법과 기상합성법 등으로 나누어지며, 액상법에는 침전법과 분무건조법 등이 있으며 고상법에는 기계적 분쇄법이 있다. 제조된 나노합금분말 재료는 재료구조의 미세화 (100 nm 이하)와 이에 따른 표면적의 증가로 인하여 기존의 재료에서는 얻을 수 없는 특이한 전·자기적, 기계적 및 촉매 특성을 나타낼 수 있으므로, 자성 부품, 센서, 필터, 촉매 등의 차세대 기능성 소재로서 응용이 가능하다.
둘째, 나노소자인데 나노 크기의 재료들을 조합하거나 배열하여 일정한 기능을 발휘하는 장치를 제작하는 것이다. 그 예로 초고밀도 메모리 소자, 초고속 통신 소자, 초저소비 전력 소자 등을 들 수 있으며, 메모리공정의 경우 특별히 새로운 기술을 도입하지 않고도 Top-Down 방식으로 반도체 공정을 발전시켜 70 nm 이하의 선폭까지 구현되었다. 또한 공정의 한계를 극복하고자 나노 프린팅 기법, 리소그래피, 저가의 대량생산이 가능한 나노임프린팅 공정 등의 나노공정기술이 계속 연구되고 있다.
셋째, 나노-바이오라 불리는 나노기술을 생명공학에 응용하는 공정이다. 그 예로 바이오모터는 인체의 모세관 속을 잠수함처럼 다니면서 질병을 진단하고 치료할 목적으로 연구되고 있으며, 그 외에 약물전달체계나 생체재료에도 많이 연구되고 있다.
또한 측정, 이론 정립, 컴퓨터 시뮬레이션, 환경생태 등 다양한 분야가 존재한다. 이와 같이 무한한 가능성을 갖고 있는 나노소재 기술 및 소자, 나노 바이오 기술을 이용한 나노공정을 개발하기 위하여 국, 내외에서 많은 소재를 여러 가지 전략으로 개발하고 있다.