나노공정 에스피엠 나노제조
페이지 정보
- 용어
- 에스피엠 나노제조
- 요약
- 주사탐침현미경(SPM)을 이용해 나노미터 선폭의 소자를 가공하는 것
- 참고문헌
- - http://www.htskorea.com/tech/spm/spmtheory.pdf
- http://mulli2.kps.or.kr//~pht/12-6/20030608.pdf
- 한재량, “SPM을 이용한 단원자(분자)의 조작”, 물리학과 첨단기술 June 2003 - 분류
- 나노공정 > 나노가공공정
본문
SPM의 종류에는 STM(scanning tunneling microscope), AFM(atomic force microscope) 등이 있고, 기존 광미세가공기술(리소그래피) 방식보다 훨씬 미세한 고해상도의 패턴을 제작할 수 있는 장점이 있다. 단원자(분자)를 조작하는 것은 주로 STM 연구로 진행되었다. 조작결과를 원자(분자)의 움직임 모양으로 분류한다면 확산, 회전, 진동, 분해 등을 인위적으로 유도하거나 합성 등으로 나눌 수 있다. 원자(분자)가 움직이는 메커니즘으로 첫째는 탐침과 표면이 아주 가까울 때 발생하는 원자 힘, 둘째는 바이어스 전압이 탐침/표면의 일함수보다 작을 때 생기는 터널링 전자들, 셋째는 바이어스 전압이 탐침/표면의 일함수보다 클 때 생기는 전자들(field-emitted electrons), 넷째는 바이어스 전압에 의해 형성되는 전기장(electric field)이다. 단원자(분자) 조작시는 STM이 유용한 도구이지만 수 나노미터에서 수십 나노미터의 크기의 원자(분자) 뭉치들을 조작하는 데에는 AFM이 더 유용하게 사용된다. AFM의 특성상 탐침과 원자(분자)간에 작용되는 힘이 영향을 미치는 공간이 STM의 경우보다 상당히 크기 때문이다. AFM에서는 탐침과 원자(분자)사이에 가해지는 힘의 종류에 따라 조작 형태가 정해질 수 있다.
- 이전글나노리소그래피 07.04.03
- 다음글방전 플라즈마 소결 07.04.03