용어의 정의

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나노팹(Nanofab)은 나노기술연구개발의 실험과 시제품제작 등을 위한 핵심연구시설로서 개별 연구주체가 확보하기 어려운 고가의 나노분석·가공·공정 연구장비를 구축하여 산·학·연이 공동으로 활용하는 서비스를 제공한다.
2000년대 초기부터 세계 주요국가들은 나노기술팹시설의 설립 및 확대를 통한 연구인프라 조성에 주목하기 시작하였는데, 미국과 일본은 대학 및 정부연구소를 중심으로 대폭적인 연구시설확충과 운영을 도모하였다. 국내의 경우는 2001년 국가나노기술종합발전계획이 수립될 당시에는 나노팹시설이 전무한 상태였지만, 과학기술부, 산업자원부의 적극적인 지원책으로 현재에는 나노종합팹센터, 나노특화팹센터 그리고 나노기술집적센터등 5개의 대형 나노인프라가 구축되고 있다.
최근들어서는 인프라의 중복투자문제가 이슈로 부각되면서, 나노기술조정위원회를 과학기술부의 혁신본부 내에 설치운영하여 국가적 차원의 나노관련 인프라의 종합조정 관리체계의 구축을 모색하고 있다.

나노종합팹센터(http://www.nnfc.com)

나노종합팹센터는 실리콘계 나노소자 공정지원에 주력하며 나노바이오, NEMS, 단위일괄공정을 지원한다. 2002년 7월 과학기술부는 한국과학기술원(KAIST)을 사업 주관기관으로 선정하였으며, 사업기간은 2002년부터 2010년(1단계: 2002∼2004)까지이며, 총 사업비는 2,900억원(정부 1,180억원, 지자체+민간 1,720억원)이다. 사업비 중 정부출연금은 연구장비 구입 및 팹센터 운영비 일부에 한정되며, 민간 부담금은 부지, 건물, 청정실 및 부대시설, 장비운영비 등에 투자된다. 1단계 투자액은 1,367억원(정부 787억원, 민간 580억원)이다. 1단계 사업내용은 나노종합팹센터 부지 확보 및 건물 신축, 부대시설/청정실 설치 및 나노 연구장비 구매 설치, 전문인력 확보 등 나노종합팹센터 운영체제 구축이며, 2단계(’05∼’07)는 나노종합팹센터의 이용 활성화, 그리고 3단계(’08∼’10)는 나노종합팹센터 자립화 기반 구축이다. 팹센터의 기능은 나노기술 관련 연구장비 이용서비스 제공(나노소자 설계 제작공정, 나노특성평가 및 시험분석, 시제품 제작 등), 나노팹시설 운영 유지 관리(나노연구장비 현황분석 및 개보수, 유틸리티 관리 및 시설 운영), 나노기술 전문인력 양성, 나노기술 이전 및 국내외 협력기반 구축 등이다.

나노소자특화팹센터(http://www.kanc.re.kr)

나노소자특화팹센터는 화합물반도체 중심의 나노소자 기술개발에 공동 활용할 수 있는 팹센터이다. 2003년 5월 과기부는 한국과학기술연구원(KIST)을 “나노소자특화팹센터 구축사업”의 사업주관기관으로 선정하였다. 여기에는 서울대, 성균관대, 아주대, 한양대, 전자부품연구원이 공동주관기관으로 참여한다. 사업기간은 2003년부터 2007까지 5년간 추진되며 총사업비는 1,805.5억원 (정부 1,475억원, 민간 156.3억원, 기타 176.2억원)에 이른다. 1단계의 사업 내용은 나노소자특화팹센터 부지 확보 및 건물 신축, 부대시설/청정실설치 및 핵심 연구장비 구매, 설치, 전문인력 확보 등 나노소자특화팹센터의 운영체제를 구축하는 것이며, 2단계(’05∼’07)는 나노소자특화Fab센터의 이용활성화 및 나노소자특화팹센터 자립화 기반 구축이다. 나노소자특화팹센터의 기능은 산·학·연에 대한 연구장비 이용서비스, 전문인력 양성, 나노벤처 창업 및 연구성과 산업화 지원 등이다.

나노기술집적센터

산업자원부는 2004년 7월 나노기술집적센터 유치기관으로 소재·재료 분야는 포항공대 컨소시움을, 장비·공정 분야는 광주생산기술연구원과 전북대 통합 컨소시움을 최종 선정하였다. 나노기술집적센터는 연구장비 제공, 공동개발 등 연구활동 지원과 전문인력 양성, 기술이전, 산업화 지원 등의 나노기술의 연구개발부터 산업화 활동까지 일괄 지원하는 것을 목적으로 설립되었다. 사업기간은 2004년에서 2008년까지이며 5년간 총 1,800억원(정부 900억원, 민간 900억원)이 지원된다.

포항 나노기술집적센터(www.nano.or.kr)

포항센터는 2005년 6월 포항가속기연구소와 연결하여 포항공대 내의 6,440평의 부지에 청정실(852평)과 비청정실(2,654평)을 합하여 연면적 3,506평 규모의 지하1층 지상4층 건물건축공사를 시작하였으며 2006년 7월에 준공될 예정이다. 주관기관인 포항공과대학교를 위시한 13개의 대학과 전기연구원 등 정부출연연구기관, 포스코 등 78개 산업체 및 경상북도 등 5개 지자체로 총 106개 기관이 참여하고 있다. 2004년 8월부터 2009년 7월까지 5년간 총사업비는 1,104억원이 투입된다.

전북 나노기술집적센터(www.nnic.re.kr)

전북센터는 2005년 11월 전주공업단지와 인접한 전주테크노파크 내에 나노팹 동 등 연면적 총2,650평의 시설구축을 시작하였다. 전북센터는 주관기관인 전북대학교를 위시한 4개의 대학, 기계연구원 등 정부출연연구원 2개, 주성엔지니어링을 비롯한 43개의 기업체와 전라북도 전주시 등의 지자체로 구성되어 있으며 나노 패터닝, 에칭 장비개발을 지원한다.

광주 나노기술집적센터(http://gnic.kitech.re.kr)

광주센터는 생산기술연구원 광주지역본부 내에 1만평 부지에 연면적 1,400평의 나노기술집적센터를 구축을 추진중이다. 주관기관인 생산기술연구원 등 정부출연연구원 3개, 전남대학교 등 10개의 대학, (주)선익시스템등 25개의 기업체와 광주광역시, 전라남도의 지자체로 이루어진 컨소시움으로 구성되어 있다. 나노 증착, 확산 장비개발을 지원한다.