나노전자 나노구동기
페이지 정보
- 용어
- 나노구동기
- 요약
- 나노 크기의 움직임을 갖거나, 정밀도를 가지는 구동기
- 참고문헌
- - Marc J. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC, 547-549 (2000)
- Gregory T.A. Kovacs, Micromachined Transducers, McGraw-Hill, 277-301 (1998) - 분류
- 나노전자 > 나노메카트로닉스
본문
NEMS 기술을 이용하여 제작되며, 나노 크기의 변위나 정밀도의 구동을 이용하여 나노 세계에서 힘이나 운동을 발생시키는데 사용하게 된다. 이러한 구동을 가능케 하는 방식으로는 다음과 같은 것들이 있다. 압전 재료에 전위차를 인가하여 나노 크기의 변위와 운동을 일으키는 piezoelectric actuator, 정전기력을 이용하여 Si 기판을 움직이거나 Comb drive 형태로 진동시키는 electrostatic actuator, 열팽창계수를 이용하여 전류를 인가하면 재료가 늘어나는 현상을 이용하여 대변위 구동을 가능케 하는 thermal actuator, 자기장을 인가하여 힘을 얻거나 운동을 일으키게 하는 magnetic actuator 등이 있다고 할 수 있다.
현재 기술의 추이는 생물학적 샘플의 표면을 측정하거나 이에 관련된 신호를 측정키 위해 나노구동기의 개발이 절실한 상태이며, 최근에는 나노구동 AFM 등을 이용하여 빛의 파장보다 작은 영역인 바이오 세계를 보기 위해 많은 연구가 진행되고 있다.
위의 그림은 나노 정밀도를 가지고 미세한 움직임을 제어하는 thermal actuator와 inchworm actuator를 보여준다.