나노전자 나노공진기
페이지 정보
- 용어
- 나노공진기
- 요약
- 나노 크기의 변위 구동을 이용하여 정밀한 구동기나 센서에 응용할 수 있는 공진기
- 참고문헌
- - Marc J. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC, 541-543 (2001)
- http://physicsweb.org - 분류
- 나노전자 > 나노메카트로닉스
본문
일반적으로 10 nm의 패턴 식각이 가능한 표면 나노머시닝(surface nanomachining) 기술을 이용하여 제작된다. 보통 10GHz 정도에서 구동되며 미세한 움직임과의 공진 현상을 이용하여 극미세 움직임이나 변위를 고정밀도로 측정하게 된다. 이러한 고주파수의 정밀한 구동을 이용하면 극도로 작은 기계적 신호를 검출해 낼 수 있기 때문에 생물 분자 세계의 신호를 검출할 수 있으며, 각종 정밀한 센서의 제작, 분자 표면의 움직임 및 형상, 바이오 신호 검출 등 응용이 가능하게 된다.
위의 그림은 강한 자기장 하에서 고주파(radio-frequency) 전류가 Au 전극을 흐를 때 회전운동을 발생시키는 나노공진기와 그 구동 원리를 보여준다.