나노측정 근접장 마이크로파 주사 현미경
페이지 정보
- 용어
- 근접장 마이크로파 주사 현미경
- 요약
- 도파관 형태의 탐침에서 나온 순간적인 마이크로파를 이용하여 시료의 전자기적 특성을 높은 공간 분해능으로 측정하는 장치
- 참고문헌
- - T. Wei and X. -D. Xiang, Appl.Phys. Lett. 68, 3506 (1996)
- Y. Lu, T. Wei, F. Duewer, Y. Lu, N. -B. Ming, P. G. Schultz, X. -D. Xiang, Science 276, 2004 (1997)
- C. Gao, and X. -D. Xiang, Rev. Sci. Instrum., 69, 3846 (1998) - 분류
- 나노측정 > 원자현미경
본문
마이크로파(micro wave)에 대한 물질의 전자기적 특성을 측정하는 것은 전자소자 제작이나 생체 조직의 연구 등에 매우 유용하다. 하지만 측정하고자 하는 시료의 크기에 비해 마이크로파의 파장이 훨씬 크기 때문에 공간 분해능이 문제가 된다. 이러한 한계를 극복하기 위해 고안된 것이 근접장 마이크로파 주사현미경(NSMM)이다. NSMM의 핵심부품인 초고주파공동(microwave cavity)은 높은 품질계수(quality factor)를 가지고 있는 λ/4 동축공진기(coaxial resonator)와 끝부분에 있는 작은 (약 50~100 μm) 구멍을 통해 나와 있는 매우 첨예한 금속 탐침으로 구성되어 있다. 동축 공진기를 위상민감 검출(phase sensitive detection) 회로에 연결하여 공진주파수와 품질계수를 측정하면서 탐침을 시료에 접근시키고 표면을 따라 주사하면 시료의 전자기적 특성에 따라 공면주파수와 품질계수가 변하게 되는데 그 변화된 값으로부터 시료 각 지점의 유전율, 투자율, 전도도 등 전자기적 특성을 알아낼 수 있다.
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