나노측정 나노계측기술, 나노측정기술, 나노메트롤로지
페이지 정보
- 용어
- 나노계측기술, 나노측정기술, 나노메트롤로지
- 요약
- 나노스케일의 소자 표면구조를 정확하고 빠르게 측정하기 위한 광학적, 자기적, 전기적 센서를 이용한 모양, 높이, 깊이 등의 측정기술
- 참고문헌
- - 엄태봉, 최붕기, “나노메트롤로지”, 나노공정측정기술, pp. 97-136, 한국과학기술정보연구원 (2002)
- 최붕기, 이호신, 이일형, 이학주, 이상록, 변위 두께 및 형상나노측정기술, 한국과학기술정보연구원 (2003)
- http://www.kriss.re.kr
- http://length.kriss.re.kr/NRL/index.html
- Odom TW et al, Nature 391, 62-64 (1998).
- http://ww - 분류
- 나노측정 > 나노측정일반
본문
나노계측기술은 측정대상의 치수나 형상 및 위치를 나노미터 수준의 정확도로 측정하는 기술로서 나노 과학 및 기술을 구현하기 위한 수단이라 할 수 있다.
나노계측기술에는 ① 피측정물의 위치 즉 거리를 측정하기 위한 기술, ② 나노미터 수준의 위치제어 기술 및 측정계(metrological frame)의 설계 제작 기술, ③ 피측정물의 형상(feature)을 검출하기 위한 탐침기술(probing), ④ 측정기기(instrument)나 생산공정 중의 장치에 포함된 측정시스템의 정확도를 평가하는 기술, ⑤ 마지막으로 이런 여러 기술을 통합하여 실용적인 측정기를 개발하는 기술 등이 포함된다.
나노스케일 구조물의 높이, 폭, 깊이, 형상, 역학적 특성, 전기적 특성과 같은 물리적인 양을 힘, 전기장, 자기장, 전자빔의 반사/투과, 빛의 반사/투과, X-ray 분석 등의 외부 탐지원에 의해서 정확하게 측정하는 기술은 하드 디스크, 반도체 소자 테스트, 바이오 관련 응용 등 나노기술에 있어서 필수적이다. 원자현미경, 광학현미경, 전자현미경 등의 현미경 기술과 소자분석 기술은 정확도, 기능, 수명, 속도, 신뢰성 등이 요구되며, 이것은 나노스케일 측정기술의 요체가 된다.
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