나노측정 확산저항 원자현미경
페이지 정보
- 용어
- 확산저항 원자현미경
- 요약
- 확산저항 원자현미경(SSRM)은 마이크로와 나노 규모에 사용되는 잘 알려진 확산저항 단면도(SRP: Spreading Resistance Profiling)법의 완성형이다.
- 참고문헌
- - T. Hantschel, P. Niedermann, T. Trenkler, Appl. Phys. Lett. 76, 1603 (2000)
- D. Alvarez, J. Hartwich, M. Fouchier, P. Eyben, W. Vandervorst, Appl. Phys. Lett. 82 (11), 1724-1726 (2003)
- L. Peimer, P. W. Hawkes, "Scanning Electron Microscopy : Physic - 분류
- 나노측정 > 원자현미경
본문
일반적인 확산저항 단면도법(SRP)은 복식 탐침 기술을 사용하는 반면 확산저항 원자현미경(SSRM)은 일반적 전극에 연결된 전도성 AFM 팁으로 작은 장치 구역을 스캔한다. 전류 원자현미경(I-AFM; Current Atomic Force Microscope)과 확산저항 원자현미경은 I-AFM이 일반화된 표면을 스캔하는 반면 확산저항 원자현미경은 장치의 교차-구역된 표면을 스캔한다는 점을 제외하면 동일하다. 확산저항 원자현미경의 응용은 반도체 물질에 있어서 도판트 분포의 측정 뿐 아니라 정확한 pn-접합 설계에도 사용된다.SRP는 철저한 해상도의 향상을 위해서 기울어진 표면의 준비가 필요한 전통적인 복식 탐침이 필요했다. 더욱이 기울어진 표면으로 인해 생기는 담체 확산으로부터의 접합 이동을 설명하기 위해 정확한 보정이 필요하다. 이와는 대조적으로 확산저항 원자현미경은 훨씬 높은 수준의 공간적 해상도(때때로 팁의 반지름보다 작은 수준)를 제공하고, 표면을 기울일 필요성을 제거하였다. SRP에는 굴곡 반지름은 보통 10 ㎛의 텅스텐 합금 첨필 팁이 사용되나 SSRM은 50-100 nm(혹은 더 작은) 다이아몬드류의 탄소 코팅된(DLC; Diamond Like Carbon Coated) 팁이 사용된다. SRP에 사용되는 전압 바이어스는 SSRM에 사용되는 것보다 10배 가량 수치가 높다. 도판트 농도의 동적 범위는 n타입과 p타입 실리콘 모두 1015-1020carries/cm3이다.
SSRM모드에는 사용되는 전압 증폭기에 따라 두 가지 모드가 있다. 그것은 <내부 SSRM>과 <외부 SSRM>이다. <내부 SSRM>은 헤드 확장 모듈 안의 고정된 게인 값의 전압 증폭기를 사용한 모드이다. <외부 SSRM>은 다양한 게인 값과 함께 작은 잡음의 외부 전류 증폭기가 사용된 모드이다. <외부 SSRM>모드에는 증폭기의 개인에 따라 알맞은 전류 범위가 변화한다.
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