용어의 정의

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접촉식 AFM에서 탐침이 시료 표면을 좌우로 주사할 때 캔틸레버는 표면의 높낮이에 따라 아래위로 휠 뿐만 아니라 그림 1과 같이 탐침과 시료 표면사이의 수평 마찰력에 의해 옆으로 비틀리게 된다. 그 비틀리는 정도는 그림 2와 같이 캔틸레버에서 반사되어 나오는 레이저 광선의 수평성분 각도에 비례하므로 쉽게 측정될 수 있다. 이렇게 시료표면의 마찰력을 측정하는 장치가 LFM이다. 물질의 성분에 따라 마찰력이 다르므로 LFM을 사용하면 시료를 구성하는 여러 종류의 물질 분포 및 각 물질의 상대적 마찰력의 크기를 알 수 있다. 같은 물질인 경우에도 어떤 표면 처리가 마찰력을 크게, 혹은 작게 할 수 있는가를 알 수 있으므로 마찰, 마모 등을 연구하는데 LFM이 유용하게 쓰여진다.