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National Nanotechnology Policy Center

정책연구보고서

정책센터 나노스케일 박막 및 구조체의 기계적 물성 측정기술

페이지 정보

발행기관
한국과학기술정보연구원, 한국기계연구원
저자
이호신, 서주환, 이일형, 이학주
발행일
2006-12-26
조회
5,011
원문

본문

나노측정기술은 나노기술의 기반이 되는 핵심기술로 ‘나노미터 수준의 형상 · 치수 · 물성 · 구조 및 성분을 나노미터 수준의 정확도로 계측하고 분석해내는 기술’이라 정의할 수 있다. 실험실에서는 나노측정기술에 이용될 수 있는 많은 원리의 구현들이 이루어져 왔으나, 기술의 일반화 또는 상업화까지는 아직도 많은 연구들을 필요로 하고 있다. 또한 기존의 것과는 다른 새로운 측정원리에 의존해야 할 핵심적인 기술들이 여러 부문에서 요구되고 있다. 따라서 실제의 나노 기술은 나노측정의 기술적 또는 이론적 한계와 타협점을 찾으면서 진행되며, 측정기술의 발전은 나노기술의 발전으로 이루어 질 것이다.

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