정책센터 나노공정용 플라즈마 장치
페이지 정보
- 발행기관
- 한국과학기술정보연구원
- 저자
- 김경호, 이일형, 김교선, 김동주
- 발행일
- 2004-12-20
- 조회
- 3,921
- 원문
-
- 2004-TI-010.PDF (1.1M) 1190회 다운로드 | DATE : 2007-04-04 00:00:00
본문
나노기술이 21세기 국가과학기술경쟁력의 확보는 물론 국가 경제 및 사회의 지속적인 발전을 위하여 국운을 좌우할 만한 핵심기술로 부상하고 있는 가운데, 한국 경제에서 큰 비중을 차지하고 있는 반도체 산업의 향후 국제 경쟁력 강화를 위해서는 크기의 소형화 및 대량의 저가 반도체 제조가 필수적이다. 따라서 높은 수율과 안정적으로 초고집적 반도체를 대량으로 제조하기 위해서는 반도체 제조 공정 중 증착, 식각, 애싱 등 플라즈마 공정의 의존도가 증가하고 있는 추세이다. 또한 나노구조를 이용한 태양전지, MEMS/NEMS 제작, 나노미립자 제조 등에서도 플라즈마 공정의 중요성은 매우 높다. 본 보고서는 10대 차세대 성장동력산업 중 하나인 "차세대 반도체 산업" 의 세부 품목인 "나노공정용 플라즈마 장치"에 대해 국내외 기술개발동향, 특허 및 문헌정보 동향 그리고 산업정보동향을 분석하여 현 단계 나노공정용 플라즈마 장치에 대한 연구개발 현황을 입체적으로 조망하고 진단하였다.
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