정책센터 차세대 MEMS
페이지 정보
- 발행기관
- 한국과학기술정보연구원
- 저자
- 소대섭, 강상규, 김근태, 문성욱
- 발행일
- 2004-11-30
- 조회
- 4,277
- 원문
-
- 2004-TI-058.PDF (507.4K) 563회 다운로드 | DATE : 2007-04-04 00:00:00
본문
MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술은 시스템뿐만 아니라 마이크로구조물, 센서, 액츄에이터, 마이크로 로봇 등 초소형 대상물을 지칭하며 이들을 만드는 가공기술 까지 포함하는 기술을 통칭하고 있다. “차세대 MEMS 산업”은 현재 정부가 추진하고 있는 10대 신성장동력 산업의 하나로서 미래 핵심전략 기술이다. 본 보고서는 “차세대 MEMS 기술”에 대하여, 기술개요와 연구개발 현황, 문헌 및 산업의 동향을 분석하여 현단계 차세대 MEMS분야의 국내외 연구개발 추진현황을 입체적으로 고찰하고 향후 발전 방향을 전망하였다.
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