정책연구보고서

MEMS 기술은 광기계 부품 등 비전기적 요소를 포함하는 광기전 복합제품의 경박단소화(輕薄短小化) 기술로서, 20세기 전자부품의 경박단소화를 통해 이미 성숙단계에 들어선 반도체 제조기술을 光學, 機械 및 電子 복합부품의 경박단소화 영역으로 확대 발전시킬 수 있는 21세기 첨단 기술이다. 따라서 20세기 말 MEMS 기술의 탄생은 과학기술적으로 볼 때, 기 성숙된 반도체 제조공정 기술과 미소영역에서 새로이 발견되는 나노과학 등 기초과학적 지식의 결합을 통해 미지의 과학기술 영역에서의 도전적인 신기술을 창출함과 동시에 향후 21세기 지식기반시대가 필요로 하는 고부가가치 제품의 극소화 개발 가능성을 제시하였다. 이처럼 MEMS기술은 신규성과 다양성을 동시에 내포하고 있어 날로 급변하는 국제기술시장에서 경쟁력 강화를 도모하고, 치열한 첨단제품 시장에서 기술융합에 의한 경제․산업적 상승기류를 형성하고 있다. 특히 MEMS 기술은 기계, 전자, 화학, 생물, 열․유체, 전자기, 광학 등 다양한 형태의 에너지와 나노물질의 감지, 연산, 분석, 처리, 구동, 저장, 표시 기능 기술의 구현에 중대한 과학기술적 근간을 제공하고 있다.