정책연구보고서

초정밀 가공에서의 측정량은 측정 대상 물리량에 따라 크게 변위측정, 형상측정 그리고 표면측정으로 분류할 수 있다. 먼저 변위측정은 가공기의 위치결정 정확도를 유지하기 위한 가장 기본적인 구성요소로서 가공기가 달성할 수 있는 총괄적인 정밀도의 한계를 결정한다. 이런 관점에서 나노미터 이하의 분해능을 가지며 이상의 상대불확도를 갖는 초정밀 길이 측정에서 대표적으로 사용되는 레이저 간섭계와 광스케일에 대하여 원리 및 특징에 대하여 설명한다. 형상측정은 가공된 물체의 기하학적 표면형상을 정량적으로 정의하며, 이를 크게 삼차원 좌표측정과 광간섭에 근거한 비교 검사로 나누고 이들의 일반적인 원리와 정확도에 영향을 주는 여러 요인들을 설명한다. 표면측정에서는 초정밀가공에서 조도(roughness)로 대표되는 표면측정이 갖는 중요성을 기술하고 측정방식을 접촉식, 비접촉식 그리고 주사촉심식으로 나누어 설명한다.