정책연구보고서

나노미터 영역에서의 생산기술인 나노기술을 구현하기 위해서는 나노미터 영역에서의 매우 복잡한 계측과 측정기술이 요구된다. 나노메트롤로지(nanometrology)는 측정대상의 치수나 형상 및 위치를 나노미터(nm) 수준의 불확도로 측정하는 과학 및 기술이라 할 수 있는데 결국 나노기술을 구현하기 위한 수단이라 할 수 있다. 나노측정기술은 피측정물의 위치 즉 거리를 측정하기 위한 기술, 나노미터 수준의 위치제어 기술 및 측정계의 설계 제작 기술, 피측정물의 형상을 검출하기 위한 탐침기술, 측정기기나 생산공정 중의 장치에 포함된 측정시스템의 정확도를 평가하는 기술로 구성되어 있다. 마지막으로 이런 여러 기술을 통합하여 실용적인 측정기를 개발하는 기술이 포함될 수 있다. 본고에서는 이러한 메트롤러지 분야에 대한 국내외 연구기관의 기술개발현황을 살펴보았으며 국내 연구개발의 전망에 대하여 고찰하였다.