나노기술 및 정책 정보

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● 안준성 교수(고려대), 박인규 교수(한국과학기술원) 및 정준호 박사(한국기계연구원) 공동 연구팀은 탄소나노튜브의 원자 침투성(atomic permeability) 향상을 위한 고정밀 나노패터닝 기술을 개발

● 연구팀은 정교하게 제작된 금속 또는 금속산화물 나노 구조체를 전사할 수 있는 나노 임프린팅 공정을 접목한 공정을 개발

● 연구팀은 원자층 증착법을 통한 세라믹 원자의 코팅을 수행한 나노 패턴된 탄소나노튜브는 기존 탄소나노튜브의 높은 응집률로 인한 세라믹 원자 증착 균일도 저하 한계를 개선하는데 성공

● 또한, 전자빔 증착법과 같은 물리적 증착법 역시 나노 패턴으로 인한 원자 침투성의 증진으로 인해 패턴이 없는 탄소나노튜브가 상단에만 금속이 증착되는 것에 비해 나노 패턴된 탄소나노튜브는 내부까지 금속이 증착되는 결과를 확인

● 본 연구는 수직 정렬 탄소나노튜브의 나노 패턴화 공정이 탄소나노튜브 기능성 코팅 응용에 있어 본질적인 문제인 낮은 원자 침투성을 해결할 수 있을 것으로 기대

Advanced Functional Materials (2024.05.22.), Nanotransfer Printing for Synthesis of Vertically Aligned Carbon Nanotubes with Enhanced Atomic Penetration