나노종합기술원, 300 나노미터 노광기술을 적용한 이음매 결함 개선 제품 개발
페이지 정보
- 발행기관
- 나노종합기술원
- 저자
- 종류
- 산업
- 나노기술분류
- 나노공정·측정·장비
- 발행일
- 2022-02-21
- 조회
- 1,055
- 출처 URL
본문
● 나노종합기술원은 편광부품 전문기업인 파버나인코리아와의 공동개발을 통하여 선격자 편광판(Wire Grid Polarizer, WGP) 상용화에 성공
● 개발된 제품은 기존 제품(PVA) 대비 고내열성, 고투과율 및 얇은 두께 특성을 지니고 있어, 내열성과 투과율 등의 문제로 적용이 어려웠던 자동차용 이미지센서, 폴더블 스마트폰 및 메타버스용 디스플레이 등에 적용 가능
● 파버나인코리아는 편광부품 상용화에 필수적인 대면적 마스터 개발을 추진하던 중, 나노종합기술원의 12인치 반도체 장비를 활용한 제품개발 가능성을 확인하고 나노종합기술원과 공동으로 제품개발을 추진
● 이에 나노종합기술원은 300mm(12인치) 반도체 장비와 공정기술을 활용하여 마스터 제작에 필요한 이음매 결함 등의 문제를 해결하여 기술개발에 성공
● 나노종합기술원은 ArF Immersion Scanner 등 12인치 반도체 장비를 활용하여 새로운 나노패턴 디자인과 공정기술을 적용하여 마스터 제작을 지원하였으며, 파버나인코리아는 나노종합기술원이 제공한 대면적 마스터와 제품(WGP) 제조기술을 결합하여, 제품 양산성과 품질을 대폭 향상시킴.
● 현재 파버나인코리아는 WGP 제조기술을 바탕으로 국내외에서 새로운 응용제품과 시장개척을 추진 중
※ 용어설명
- 와이어 그리드 편광판(Wire Grid Polarizer, WGP): 금속 나노선을 일정한 간격으로 배열하여 편광 효과를 얻는 광학 소자로, 절반의 빛은 투과 편광이 되고 절반의 빛은 반사 편광이 되는 특수 편광판
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