나노기술 및 정책 정보

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● 한국기계연구원 전략조정본부 정준호 본부장과 싱가포르 Nanyang Technological University의 김문호 교수 공동 연구팀이 세계 최초로 접착제가 필요 없는 화학흡착 나노전사기반 나노 광소자 대량 제조기술을 개발

● 기존 고가의 노광장비와 건식 식각장비 대신 저가의 나노전사장비와 습식 식각장비만으로 고성능 나노 광소자의 대량 제조에 성공

● 해당 연구로 개발한 화학흡착 나노전사공정은 나노구조체가 패터닝된 유연 나노스탬프에 20㎚(나노미터) 두께의 금을 증착하고, 특정 압력(5 bar)과 온도조건(160-200℃)으로 기판에 가압하면 발생하는 화학흡착(Chemisorption) 현상을 이용

● 화학흡착이 발생할 때 금 박막과 기판 사이에 접착력이 생겨 나노스탬프의 금 박막이 기판으로 전사

● 지금까지는 구조체와 기판 사이 접착제 때문에 반드시 고가의 건식 식각공정이 필요했지만, 개발된 기술을 활용하면 경제적인 습식 식각공정인 금속 화학 식각(MAC etch, Metal-Assisted Chemical etch)이 가능

● 연구팀은 향후 후속 연구를 통해 나노LED, 나노태양전지, 차세대 배터리의 대량 제조기술을 개발할 계획

※ 용어설명

- MAC etch 공정: 금과 같은 금속 촉매를 이용한 습식 화학식각공정으로 식각용액에 담긴 기판과 금속 촉매 간 산화환원 반응으로 기판이 식각

※ ACS Nano 게재(2022.01.03.), “Direct Chemisorption-Assisted Nanotransfer Printing with Wafer-Scale Uniformity and Controllability”

※ 과학기술정보통신부(파동에너지극한제어연구단 극한물성시스템 제조플랫폼 기술 과제) 지원