나노기술 및 정책 정보

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● 나노종합기술원이 넥스틴 반도체 검사 장비(인스펙션)를 도입, 12인치 웨이퍼 기반 테스트베드 서비스를 고도화할 예정이며, 12인치 패턴 웨이퍼 제작 중심에서 이물질 및 회로 오류 검사까지 서비스 범위를 확대할 수 있게 돼 국내 반도체 제조 기업의 제품 상용화 속도를 앞당길 전망

● 당원이 도입한 넥스틴 반도체 검사 장비 '이지스(AEGIS)'는 반도체 웨이퍼 결함을 검사하는 장비로, 고해상도 광학기술을 활용해 웨이퍼 이물질(파티클)이나 10나노대 초미세 패턴 결함을 파악할 수 있으며, 8인치(200㎜)와 12인치(300㎜) 웨이퍼 모두 검사할 수 있어 뛰어난 범용성을 보유 

● 장비의 도입으로 국내 소재·부품·장비 업체는 삼성전자나 SK하이닉스 등 대기업 생산 환경과 유사한 반도체 공정 테스트 결과를 얻을 수 있을 것으로 기대

● 당원은 향후 반도체 대기업의 유휴 장비를 매입해 테스트베드에 맞게 최적화하는 방안 등 다양한 방법으로 장비를 늘려가며 서비스 범위를 확대할 계획