나노기술 및 정책 정보

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● 젬백스앤카엘은 최대 파운드리 업체 TSMC에 시제품 평가 진행을 위한 케미컬 에어 필터(CA Filter)를 공급 

● 당사의 해당 제품은 TSMC가 신규로 설치할 일본 TEL사의 EUV(Extreme Ultra Violet) spinner용 최신 장비에 적용해 테스트를 진행할 예정

● 해당 테스트가 성공적으로 마무리된다면 TSMC의 최신 3나노 Fab 공정에 새롭게 투입 

● EUV(Extreme Ultra Violet)는 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(lithography) 기술로 차세대 반도체 칩 제조 공정의 핵심기술