나노기술 및 정책 정보

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한국표준과학연구원은 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 밀도를 가동 장비를 멈추지 않고 실시간으로 측정할 수 있는 센서를 세계최초로 개발함. 이효창 선임연구원은 “이번에 개발한 센서는 웨이퍼 바닥 부분인 정전척, 에지링, 챔버 벽 등 원하는 부분에 설치할 수 있어 실용적”이라며, “향후 관련 기술의 표준 시험 절차 확립을 통해 반도체·디스플레이 소재·부품·장비의 성능을 검증할 수 있는 플라즈마 측정 기준 장비로 활용할 전망”이라고 밝힘.

※ Plasma Sources Science and Technology 게재