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한국세라믹기술원, '산화갈륨' 전력반도체 국산화…日 독점 깬다

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발행기관
전자신문
저자
 
종류
산업
나노기술분류
 
발행일
2021-05-09
조회
1,432

본문

한국세라믹기술원 전대우 박사 연구팀이 차세대 전력반도체로 불리는 산화갈륨 전력반도체의 국산화에 성공함.

연구팀은 수소화기상성장법(HVPE)을 자체 개발, 이를 이용해 넓은 영역에서 전자 농도를 제어할 수 있고 기존 대비 높은 전자 이동 특성을 띠는 에피 웨이퍼 제작에 성공함.

전대우 연구원은 “2인치 에피 웨이퍼의 국산화로 우리나라 전력반도체 산업 육성과 상용화 연구에 속도가 붙을 것이라면서 전력반도체 산··연과 협력, 4인치·6인치급까지 개발해서 상용화해 나가겠다고 말함.

산업통상자원부 소재부품핵심기술개발사업과 과학기술정보통신부 나노및미래소재기술개발사업의 지원