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한국재료연구원(KIMS) 박영조 박사 연구팀이 ㈜미코세라믹스와 공동연구를 통해 반도체 제조장비 내부의 오염입자를 줄일 수 있는 내플라즈마성 세라믹 신소재를 국내 최초로 개발했다고 밝힘.

연구진은 이미 확보된 투명 세라믹 개발 과정에 사용된 무기공 이론밀도 치밀화 소결기술을 이트리아·마그네시아 복합세라믹에 적용해 잔류 기공이 없는 완전 치밀체 소결을 달성해 식각률을 최소화함. 연구팀은 서로 다른 물질이라도 균일한 작은 크기의 결정립으로 치밀한 소재와 부품을 제조하면, 오히려 단일 물질의 소재 및 부품보다 반도체 공정장비의 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 사실을 최초로 입증한 것이라고 밝힘

※ Scientific Report 게재