한국세라믹기술원, '산화갈륨' 전력반도체 국산화…日 독점 깬다
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- 2021-05-09
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한국세라믹기술원 전대우 박사 연구팀이 차세대 전력반도체로 불리는 산화갈륨 전력반도체의 국산화에 성공함.
연구팀은 수소화기상성장법(HVPE)을 자체 개발, 이를 이용해 넓은 영역에서 전자 농도를 제어할 수 있고 기존 대비 높은 전자 이동 특성을 띠는 에피 웨이퍼 제작에 성공함.
전대우 연구원은 “2인치 에피 웨이퍼의 국산화로 우리나라 전력반도체 산업 육성과 상용화 연구에 속도가 붙을 것”이라면서 “전력반도체 산·학·연과 협력, 4인치·6인치급까지 개발해서 상용화해 나가겠다”고 말함.
※ 산업통상자원부 소재부품핵심기술개발사업과 과학기술정보통신부 나노및미래소재기술개발사업의 지원
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