나노기술 및 정책 정보

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● 한국광기술원 및 알파에이디티(박막제작 전문업체) 및 그린광학(광학 전문기업), 하스(글라스 세라믹 미세구조 제어 전문기업) 공동 컨소시엄은 2028년까지 ‘13.5nm EUV 검사장비 광학계용 광학소재 부품 기술 개발’에 착수

● 컨소시엄은 극자외선 검사장비 반사광학계에 적용이 가능한 극저열팽창 유리세라믹 광학소재, 고반사 반사경 제작 핵심기술 내재화를 목표로 진행될 예정

● 컨소시엄은 ‘EUV 반사경용 극저열팽창 유리세라믹 소재 기술 개발’ 및 ‘극자외선 검사장비 반사광학계용 초고정도 반사경 가공기술 개발’, ‘극자외선 반사경의 반사막 코팅 장치 및 공정 기술 개발’ 등 3개 과제로 나눠 추진할 계획

● 본 기술 개발은 EUV 노광장비 및 검사장비용 광원 및 핵심 광학 소재 부품을 전량 해외 수입에 의존하는 기술 종속에서 탈피해 ‘13.5nm EUV를 활용한 검사장비의 핵심 광학 소재 부품 및 고반사 코팅 분야 초격차 기술’을 확보할 전망