나노기술 및 정책 정보

• 목록

● 조문호 교수(포항공대 및 기초과학연구원) 연구팀은 원자 크기 수준으로 작은 너비의 1차원 금속 물질을 2차원 반도체 기술에 적용해 새로운 구조의 극소형 반도체 소자를 구현

● 연구팀은 2차원 반도체인 이황화몰리브덴(MoS2)의 거울 쌍정 경계(MTB)가 폭이 0.4nm에 불과한 1차원 금속인 점에 영감을 얻어 이를 반도체 소자의 게이트 전극으로 활용

● 이어 연구팀은 리소그래피 없이 게이트 길이가 원자 크기 수준인 1차원 금속 기반의 반도체 소자를 구현하고, 극소형 반도체 소자가 기반이 되는 논리 회로를 구현하는 데 성공

● 연구팀은 1차원 거울 쌍정 경계로 인해 변조되는 채널 영역이 약 3.9nm인 것을 입증해 실질적인 게이트 길이가 수 nm 수준임을 확인

● 연구팀이 반데르발스 에피 성장법으로 구현한 1차원 금속상은 새로운 물질 공정으로서 초미세 반도체 공정에 적용되어, 향후 다양한 저전력 고성능 전자기기 개발의 원천기술이 될 것으로 기대

Nature Nanotechnology (2024.07.03.), Integrated 1D epitaxial mirror twin boundaries for ultrascaled 2D MoS2 field-effect transistors