나노기술 및 정책 정보

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반도체 소재·부품·장비(이하 소부장) 국산화를 위해 꼭 필요했던 12인치(300㎜) 반도체의 테스트베드가 국내에 구축됐음.

내년 초부터 국내 소부장 업체들에게 테스트베드 서비스가 이뤄질 전망임.

나노종합기술원은 15일 대전 유성구 본원에서 기자간담회를 열고 이 같은 성과를 발표했음.

이번에 구축된 테스트베드는 전 세계 반도체 산업에서 가장 많이 쓰이는 12인치 반도체 소재·부품·장비 기술과 제품 성능을 평가해볼 수 있는 시스템임.

나노종기원은 지난해부터 총 450억원의 정부예산을 지원받아 12인치 반도체 테스트베드 구축에 심혈을 기울여 왔으며, 2022년 최종 완성할 계획임.

과학기술정보통신부와 산업부, 나노종기원과 한국반도체산업협회는 테스트베드가 구축되는 과정에서 유기적인 업무협력 네트워크를 구축해 반도체 소부장 국산화 촉진을 위해 노력해왔음.

나노종기원이 우수 소재와 부품, 장비기술을 발굴하거나 기업을 찾아내면 반도체협회가 최종 수요기업을 찾아 연계협력을 하는 방식임.

최종 수요기업은 성능평가 지원사업, 패턴 웨이퍼 공급사업 등에 테스트베드를 우선 활용할 수 있음.

나노종기원은 앞으로 20nm급 패터닝 공정기술 서비스도 제공할 방침임.

지금 구축하고 있는 불화아르곤(ArF) 이머전 스캐너는 최대 분해 능력이 45nm에 불과한데 반해 삼성전자나 SK하이닉스 등 종합반도체 회사들은 40~20nm급 PR 패터닝 공정을 활용하고 있음.

국내 소부장 업체들에게 20nm급 패턴 공정기술이 꼭 필요한 만큼 이를 위해 추가적인 공정장비를 도입할 예정임.