나노기술 및 정책 정보

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● 한혁진 교수(성신여대) 및 Judy Cha 교수(Cornell university), 진강태 교수(가천대) 공동 연구팀은 1차원화된 위상 금속 물질의 결정화가 선폭에 영향을 받아 변화한다는 사실을 실험으로 입증

● 연구팀은 1차원화된 위상 금속 물질인 텅스텐 포스파이드(WP)의 결정화가 35nm 이하 영역에서 이인화 텅스텐(WP2)으로 새롭게 결정화된다는 과정을 알아내는 데 성공

● 본 연구는 나노 단위의 위상 금속의 결정화 과정을 제시하여, 향후 초고집적 반도체 개발 등 미래 반도체 핵심 소재 및 공정 기술 개발에 중요한 토대를 마련할 것으로 기대

Nature Communications (2024.07.13.), Diameter-dependent phase selectivity in 1D-confined tungsten phosphides