나노기술 및 정책 정보

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◇ 국내최초 12인치 반도체 소재․부품․장비 테스트베드 구축현황 점검

◇ 소재․부품․장비 및 코로나19 관련 그간의 기술사업화 성과 공유

□ 소재․부품․장비 기술자립 지원을 위한 핵심사업인 ’반도체 소재․부품․장비 테스트베드 구축사업‘이 대기업 유휴장비 도입을 통해 예산과 시간을 절감하는 등 차질 없이 추진 중임.

□ 과학기술정보통신부(이하 ’과기정통부‘) 최기영 장관은 8월 11일(화) 국내 최초로 나노종합기술원(원장 이조원, 이하 ’나노종기원‘)에 구축되는 반도체 소재·부품·장비 국산화 지원 테스트베드 현장을 찾아 진행상황을 점검하고 테스트베드 활성화를 위한 간담회를 가졌음.

□ 테스트베드는 대기업 양산설비와 비슷한 실장환경을 구축하여 중소기업의 소재․부품․장비에 대한 실험․성능평가를 지원하는 역할을 하는데,

ㅇ 과기정통부는 작년 하반기부터 테스트베드에 필요한 핵심장비 도입(10대)을 추진해 왔고, 얼마 전 반도체 노광장비를 대기업의 협조를 바탕으로 확보하는 한편, 나머지 장비들도 올해말까지 구축을 모두 완료할 계획임. 아울러 장비구축과 동시에 시범서비스를 제공하고, 공정고도화를 통해 서비스의 질적 수준을 높이게 됨.