나노기술 및 정책 정보

• 목록

한국기초과학지원연구원은 그동안 전량 수입해온 질량 분석 장비인 '기체 클러스터 이온빔 장치'를 국산화하는 데 성공함.

기체 클러스터 이온빔 장치는 시료에 이온 빔을 쏴 이차이온을 일정하게 생성시키는 장치임.

이렇게 만들어진 이차이온의 질량을 분석해 시료의 화학적 조성을 파악할 수 있음.

이번에 개발한 이온빔 장치의 표면 가공 정밀도(시료의 화학적 조성을 깊이 방향으로 얼마나 정밀하게 분석할 수 있는지를 나타내는 능력)는 분당 5나노미터(㎚·10억분의 1ｍ) 정도로, 외산 장치와 비슷한 수준으로 나타났음.

연구팀은 이온빔 장치를 이용해 장기적으로는 유기발광다이오드(OLED)나 생체시료 등을 화학적으로 분석할 수 있는 연구 장비를 개발할 계획임.

최명철 기초지원연 책임연구원은 "국내에서 활용되는 모든 이온빔 장치는 전량 독일과 영국 등에서 수입하는 실정"이라며 "개발한 장비를 반도체 분석, 소재 개발, 환경 분석 등 다양한 분야에서 활용할 수 있을 것"이라고 말함.