SK머티리얼즈, 반도체 핵심소재인 기체 불화수소 국산화 성공
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- 발행기관
- 서울신문
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- 나노기술분류
- 발행일
- 2020-06-29
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SK머티리얼즈가 해외 의존도 100%였던 기체 형태의 초고순도(순도 99.999%) 불화수소 국산화에 성공함
또한, SK머티리얼즈는 불화아르곤 포토레지스트 개발에 약 400억원을 투자해 내년까지 충남에 공장을 짓고 2022년부터 연간 5만 갤런 규모의 불화아르곤 포토레지스트를 양산할 계획임
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