나노기술 및 정책 정보

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LG디스플레이와 연세대 신소재공학과 공동 연구팀은 유연하고 투명한 타입의 새로운 포토마스크(회로의 배열이나 패턴을 담고 있는 투명기판)를 이용, 기존 포토마스크로는 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피(빛을 가해 사진을 찍듯이 회로를 형성) 기술을 개발. 기존 디스플레이용 노광장비로 현재 만들 수 있는 크기의 100분의 1 수준에 해당하는 수십나노미터의 초미세패턴을 구현할 수 있으며 LCD(액정표시장치)뿐 아니라 OLED(유기발광다이오드)에도 적용 가능한 기술임. 연구결과는 ‘Nature Communications’ (“Near-field sub-diffraction photolithography with an elastomeric photomask”)지에 게재됨. 이번 연구는 산학 협력 차원에서 인큐베이션 과제 지원을 통해 진행됨.