나노기술 및 정책 정보

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나노종합기술원은 국내 반도체 대기업의 ArF 이머전 노광기를 팹으로 들이기 위한 막바지 작업에 돌입. 올해 말까지 모두 10개 장비를 팹 안에 들일 예정이며 화학기상증착(CVD), 건식 식각장치, 세정, 열처리, 두께 측정 장비 등이 포함됨.

12인치 웨이퍼 테스트베드 설치는 지난해 7월 일본의 반도체 소재 수출규제 이후 크게 주목받았음. 국내에 10여개 반도체 테스트베드가 있지만, 업계 실정에 맞지 않는 8인치 웨이퍼 위주여서 중소 반도체 업체들의 활용도가 낮았음. 특히 일본 수출규제로 열악한 반도체 소재 생태계가 드러나면서, 공공부문에서 적극 투자한 소재 실험실을 갖춰 중소 업체들이 '기본 실력'부터 갖춰야 한다는 주장이 제기돼 왔음.

대전 나노종합기술원은 빠른 후속 조치를 통해 900㎡(300평) 규모로 문을 열고, 내년 상반기 서비스를 시작하는 것을 목표로 함.

국내에 처음 12인치 반도체 테스트베드가 열리는 만큼 중소 소재·부품·장비 업체들의 기대치는 상당히 높음. 소재 업체들은 팹 내에서 포토레지스트 등 핵심 소재 개발을, 장비 업체들은 40㎚ 이하 패턴 웨이퍼 서비스를 받으며 장비 성능 실험을 할 수 있을 것으로 기대.