나노기술 및 정책 정보

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나노종합기술원(나노팹)이 정부의 소재·부품·장비 R&D 지원 추경 예산 115억원을 포함해 총 450억원을 투입, 12인치 반도체 테스트베드 구축에 돌입함. 포토레지스트, 불화수소 등 소재 위주 연구 설비를 갖추고 차근차근 규모를 넓혀나갈 방침임.
테스트베드에는 다양한 장비가 구축될 예정이며, 현재 청정실과 불화아르곤(ArF) 이머전 노광장비 구축을 추진함. 내년에는 식각, 증착 장비를 들여 내년 4월 본격 서비스를 시작할 방침임. 기업 유휴장비 확보 등으로 1차 구축 사업이 끝나는 2022년 이후에도 테스트베드 규모와 서비스 영역을 확장할 계획임.
국내 중소 업체들 수준이 삼성전자와 SK하이닉스 라인에 공급할 만한 단계에 도달할 때까지는 기초 R&D용 연구 인프라가 늘어나야 한다는 주장이며 업계에서는 일본 수출 규제로 문제가 됐던 EUV 포토레지스트 외에도 현재 공정에 주로 쓰이는 ArF 포토레지스트마저도 양산용으로 공급되기까지는 수많은 과제가 산재해 있다고 평가됨.
이번에 핵심 소재 국산화 중요성을 절감한 만큼 정부가 단기 예산 분배가 아닌 꾸준하고 지속적인 R&D 팹 지원을 도모해야할 필요가 있는 것으로 여겨짐.