나노기술 및 정책 정보

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울산과학기술원 김소연 교수 연구팀이 한국과학기술연구원 권석준 책임연구원, 전남대학교 허수미 교수와 공동으로 반도체 칩이나 광전소자 제조에 사용하는 ‘나노패터닝’을 기존보다 쉽고 저렴하게 할 수 있는 방법을 개발함. 블록공중합체를 활용해 나노패턴을 만드는 일은 패턴 방향 정렬과 패턴 내 구조적 결함을 제거하는 등에서 기술적 한계를 가짐. 연구팀은 이러한 문제를 해결하기 위해 각각의 문제를 해결할 수 있는 실험적 설계를 고안함. 먼저 ‘선 패턴’을 형성하는 블록공중합체 박막 위에 밀어주는 힘을 가해 정렬 방향성을 만듦. 이와 별도로 패턴 내에 생긴 구조적 결함은 용매 증기 처리 방식을 이용해 제거함. 연구팀은 이렇게 만들어진 나노패턴의 균일도를 분석해 기존 패턴보다 결함구조가 사라져 품질이 향상됐다는 사실을 확인함. 이번 성과는 반도체 뿐만 아니라 광전소자, 플라즈모닉 소자 등 다양한 소자의 나노패터닝에도 적용 가능할 것으로 기대함

※ Science Advances 게재