[국내/R&D]반도체 깊은 곳 결함까지 콕, 고감도 현미경 나왔다
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- 연합뉴스
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- 나노기술분류
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- 2018-12-05
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한국표준과학연구원 나노구조측정센터 이은성 책임연구원팀이 ㎚(나노미터)급으로 영상화하는 ‘광 유도력 현미경’을 개발함. 연구팀이 개발한 광 유도력 현미경 기술은 빛이 아닌 원자힘 현미경처럼 힘을 측정하는 간단한 방법을 사용하면서도, 물질의 150㎚ 깊은 곳 광학적 특성까지 살펴 영상화할 수 있음. 이번 기술은 기존 기술보다 훨씬 간단하면서도 측정 감도와 공간분해 성능이 좋음. 또한 연구팀은 실험 도중 제거 대상인 오염 물질이 오히려 현미경 해상도를 올린다는 사실도 최초로 밝혀냄. 이번 광 유도력 현미경을 통해 공정 불량률을 줄이고 생산성 향상을 가져올 수 있을 것으로 기대함
※ Light:Science and Applications 게재
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