나노기술 및 정책 정보

• 목록

□ 교육과학기술부는 21세기프론티어 나노메카트로닉스기술개발사업단의 지원을 받은 이재종박사(50, 한국기계연구원)팀이 ‘30나노미터급 다층 나노임프린트 장비’를 개발하는데 성공했다고 밝혔다.  

□ 나노 임프린트 기술이란 자외선이나 열을 이용하여 나노미터 크기의 패턴을 유연한 플라스틱 소재 등에 옮겨 나노소자를 만드는 기술을 말한다.

 ○ 나노소자는 반도체, 하드디스크 등 정밀소자 뿐만 아니라 LED, 광통신소자, 태양광전지, 바이오칩에 이르기까지 산업계에 광범위하게 사용된다.

□ 나노 소자를 만들기 위해 전자빔을 이용해 나노패턴을 하나하나 새기는 기술과 사진인화기술과 유사한 사진석판기술이 사용되어 왔으나, 각각 생산속도가 느리고 고가라는 단점이 있었다.

□ 이 박사팀은 나노소자를 만드는 또 다른 방법인  ‘나노 임프린트’ 기술을 집중적으로 연구하였다.

 ○ 일종의 도장을 찍어내는 방법인 나노임프린트 기술은 나노패턴이 새겨진 스탬프의 패턴을 유연소재에 눌러 찍은 후 자외선이나 열을 가해 빠르고 낮은 단가로 나노패턴을 형성한다.

□ 이 기술의 핵심은 나노패턴을 넓은 면적에 여러 층으로 구성하되 층간의 정렬오차범위를 최소화하는 것인데, 이 박사팀은 30나노미터급의 나노패턴을 직경 6인치 이상의 면적에 층간 정렬오차를 10나노미터까지 줄였다.

 ○ 이정도 면적과 오차범위는 세계 최고수준으로 관련 산업계의 적용가능성을 높일 수 있다.

□ 이 박사는 “이번에 개발한 다층 나노임프린트 장비는 수 나노미터급의 정밀도를 바탕으로 대면적 나노패터닝을 가능케한 핵심원천기술의 집합체로 향후 관련 산업계에 큰 파급효과를 기대할 수 있다”고 연구의 의의를 밝혔다.

□ 개발된 기술은 연구 참여기업과 기술이전계약을 체결하였으며, 최근 5년간 17건의 특허를 등록하고, 19건의 특허를 출원하였다.

<자료문의> ☎ 원천연구과 엄재식 과장, 용찬재 주무관(02-2100-6720)

                ☎ 한국기계연구원 나노공정장비연구실 이재종 박사(042-868-7145)

                ☎ 나노메카트로닉스기술개발사업단 이상록 단장(042-868-7619)