나노기술 및 정책 정보

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반도체, 디스플레이 장비․재료 분야 차세대 기술개발을 위한 대형 R&D 인프라인 광주 나노기술집적센터(이하 나노센터)가 포항센터에 이어 서비스를 시작한다.

산업자원부가 광주․포항․전북 등 3곳에 구축중인 나노센터는 반도체, 디스플레이 장비․재료의 ①차세대 신기술 개발 → ②상용화 → ③성능평가․표준화를 패키지로 지원하는 핵심 나노기술 인프라 역할을 담당하게 된다

금번에 개소하는 광주센터는 반도체․디스플레이 분야에 필요한 나노 장비 및 공정을 연구개발부터 산업화 지원까지 가능한  핵심연구기반이 될 전망이다.

특히, 반도체․디스플레이 관련 나노 박막/확산 공정기술 및 장비개발에 주력하여 2015년 장비분야 국산화율 50% 달성에 크게 기여 하게 된다.

  ※ 국산화율 : 반도체장비 20%, 재료 40%, 디스플레이 장비 36%, 재료 50%

아울러 나노센터는 장비․재료기업에서 개발한 차세대 원천기술의 상용화를 지원하게 된다.

특히, 금년 9월부터 시작되는 ‘장비․재료 원천기술 상용화 사업’과 연계하여 향후 나노센터는 신기술 상용화의 핵심 연구인프라가 될 것으로 기대된다.

우선적으로 광주센터는 2개 장비제조기업과 공동으로  차세대 태양전지 제작을 위한 증착장비인 CVD 장비개발과 광부품 제작을 위한 BPSG(Boron Phosphorus Silicate Glass)용 CVD 공정 개발을 추진할 계획이다.

   * CVD (Chemical Vapor Deposition) : 반도체/디스플레이 소자 제조공정에서 기판 위에 산화막, 질화막 등의 박막을 형성하는 장비

   * BPSG (Boron Phosphorus Silicate Glass) : 산화막에 붕소나 인을 첨가하여 저온에서 평탄화가 가능한 박막물질로 얇은 접합이 요구되는 고집적 소자의 공정에 이용

또한 나노센터는 국산 장비․재료에 대한 기초 성능평가 ․인증, 중장기적으로 표준화 사업을 추진한다.

지난해 산업자원부와 반도체․디스플레이 업계간 상생협약(06.11) 이후 시행하고 있는 ‘성능 평가팹’ 사업 확대시 중요한 평가․인증 기반이 될 전망이다.

   * 평가팹 : 일괄 생산 공정을 구축, 평가대상 중소업체 제조장비와 旣구축 대기업 장비와 생산수율, 신뢰성 등을 비교․평가하기 위해 구축된 시스템
     (현재 반도체 33개 장비․재료, LCD 5개 장비에 대한 평가 진행 중)

한편, 광주센터는 지난해 반도체․디스플레이 업계가 합의한  3대 상생과제(원천기술상용화사업, 평가팹, 수급기업펀드), 그리고 금년에 새로 시작한 디스플레이 분야 대기업간 협력을 기술적으로 실현할 ‘R&D 분야 상생협력의 場’이 될 것으로 기대된다.