광운대-단국대-경희대 공동 연구팀, 차세대 전력반도체용 초고내압 산화갈륨 필름 제작 공정 기술 개발
페이지 정보
- 발행기관
- 베리타스알파
- 저자
- 종류
- R&D
- 나노기술분류
- 나노공정·분석·장비 > 나노증착 기술
- 발행일
- 2024-09-19
- 조회
- 85
본문
● 오종민ㆍ구상모 교수(광운대) 및 원종호 교수(단국대), 원강희 교수(경희대) 공동 연구팀은 전력반도체용 초고내압 산화 갈륨 필름을 개발
● 연구팀은 상온 분말 충격 코팅 방식인 에어로졸 데포지션(Aerosol Deposition)을 주 공정으로 사용하고, 노즐 틸팅 최적 기술을 적용해 항복 전계 집중 현상을 해결
● 또한, 연구팀은 후열처리 공정으로 산소 공공* 감소 및 결정화를 이뤄내어, 높은 항복 전계를 위한 핵심 변수 중 하나인 밴드갭을 증가시키는 데 성공
* 산소 공공 : 촉매 재료의 결정 구조에서 산소 원자나 이온이 빠져 비어버린 자리
● 연구팀은 단순한 구조의 산화 갈륨 필름을 제작하여, 매우 낮은 누설 전류 및 낮은 항복 전계 5.5MV/cm를 달성
● 본 연구는 향후 매우 높은 고전압에서도 신뢰성 있는 동작을 하는 차세대 전력반도체 소자 제작 기술로 응용될 전망
Small Structures (2024.08.21.), Ultrahigh Breakdown Field in Gallium (III) Oxide Dielectric Structure Fabricated by Novel Aerosol Deposition Method