나노기술 및 정책 정보

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● 화학증착 소재물성 데이터센터로 지정된 한국표준과학연구원이 반도체 제조에 사용되는 화학증착 소재의 포화증기압을 참조표준으로 개발한 가운데, 국내 반도체 기업들이 해당 참조표준을 연구개발에 활용

● 화학증착 소재물성 데이터센터는 고진공 환경에서 물성을 측정할 수 있는 기술과 장비를 보유하고 있어 관련 산업계의 수요를 해결하고자 참조표준 개발에 착수

● 센터는 반도체 공정에서 주로 사용되는 화학증착 소재에 대해 온도별로 증기압 등의 물성을 측정해 데이터를 생산하고, 생산된 데이터를 정리해 전문위원회와 기술위원회 등의 심의를 거쳐 참조표준을 제정

● 향후 센터는 반도체용 소재뿐 아니라 2차전지용 핵심 소재에 대한 물성 참조표준을 개발해 국가 전략산업의 초격차 기술 개발을 지원할 계획