나노기술 및 정책 정보

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● 최두호 교수(동의대) 연구팀은 산화아연(ZnO) 박막의 계면 특성을 제어하여 세계 최고 성능을 지닌 초박막 구리(Cu) 기반의 투명전극 기술을 개발

● 연구팀은 하부 산화물의 표면에 아르곤(Ar) 플라즈마 공정을 적용하여 산소 공공(vacancy) 농도를 제어하고, 이를 구리의 핵생성 사이트로 활용해 6nm의 초박형 두께에서 완전한 구리 연속박막을 형성하는 기술을 개발

● 해당 기술은 매우 평탄한 산화물-금속 계면을 형성하여 광자와 전자의 계면산란을 동시에 저감시켜 최고투과도 94%와 면저항 9.1Ωsq-1을 확보했으며, 투명전극의 성능 지수 0.063Ω-1을 달성

● 본 연구 성과는 기존에 연구됐던 은(Ag) 기반의 투명전극에 비해 경제적 측면에서 이점이 많고, 유연성을 가지면서도 매우 높은 열/전기/기계적 스트레스가 동시에 반복돼도 그 특성이 변하지 않는 장점을 지니고 있기 때문에 다양한 분야에서 활용이 가능할 것으로 기대

Nano Letters (2023.07.11.), Smooth, Chemically Altered Nucleating Platform for Abrupt Performance Enhancement of Ultrathin Cu-Layer-Based Transparent Electrodes