POSTECH, 블록 공중합체 통해 초고밀도 나노 패턴 제작 기술 개발
페이지 정보
- 발행기관
- 전자신문
- 저자
- 종류
- R&D
- 나노기술분류
- 나노공정·분석·장비
- 발행일
- 2023-08-21
- 조회
- 611
- 출처 URL
본문
● 김진곤 교수(포항공대) 연구팀은 블록 공중합체(BCP)의 수소결합을 통해 고밀도 나노구조를 만드는 데 성공
● 연구팀은 부피 분율이 큰 블록이 나노 패턴을 형성할 수 있도록 수소결합을 형성할 수 있는 두 가지 다른 BCP를 이용
● 또한, 두 BCP 분자량과 혼합비율을 조절해 원형 단면이 아닌 정사각형 또는 육각형 패턴을 형성
● BCP를 사용하면 기존 공정에 비해 경제적일뿐 아니라 정교하고 복잡한 나노 패턴을 빠르게 만들 수 있어, 반도체 성능을 향상시키는 연구에 큰 도움이 될 것으로 기대
ACS Macro Letters (2023.06.26.), Tetragonally Packed Inverted Cylindrical Microdomains from Binary Block Copolymer Blends with Enhanced Hydrogen Bonding
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