나노기술 및 정책 정보

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● 삼성전자는 ‘BACUS 2024’ 학회에서 탄소나노튜브(CNT) 펠리클* 상용화를 위한 특성 확보에 성공했다고 발표

* 펠리클(Pellicle) : 빛이 회로를 새기기 위해 거쳐 가야 하는 ‘마스크’를 보호하는 덮개

● 삼성은 국내 소재사인 에프에스티와 함께 EUV 빛을 94% 이상을 투과시키고, 메탈 실리사이드(MeSi) 대비 강도와 수명이 우수한 CNT 펠리클을 개발

● CNT 펠리클은 마치 망사 헝겊처럼 작은 구멍들이 송송 뚫려 있어, 빛은 통과시키면서 마스크에서 떨어진 이물질들은 그물망처럼 보호할 수 있는 것이 특징

● 삼성은 이번 개발로 2나노 이하 파운드리 공정에서 TSMC를 쫓아갈 수 있는 원동력을 확보하고, 향후 수율과 가격 경쟁력을 강화해 나갈 것으로 기대